潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而給予特別設(shè)計(jì)的房間。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為「潔凈室」。
1、送風(fēng)至少經(jīng)過(guò)三級(jí)過(guò)濾(粗效、中效和高效),并且高效過(guò)濾器應(yīng)設(shè)置在系統(tǒng)的末端。
2、潔凈室應(yīng)有足夠的除塵和空調(diào)的送風(fēng)量。
3、潔凈室應(yīng)維持必要的壓力梯度(正壓梯度或負(fù)壓梯度)。
4、潔凈室應(yīng)有合理的氣流組織。
凈化等級(jí)一般分為100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),現(xiàn)在2010年版的GMP凈化車(chē)間已經(jīng)不用這個(gè)叫法了,分為ABCD級(jí)別,分別相對(duì)應(yīng)于98版的幾個(gè)級(jí)別,通過(guò)檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評(píng)價(jià)凈化級(jí)別,各個(gè)級(jí)別有不同的要求,凈化等級(jí)分靜態(tài)、動(dòng)態(tài)兩種。
世界各國(guó)均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類(lèi)推,配合公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化,M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
潔凈網(wǎng):Wg1pj 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級(jí)為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
基于伯努利原理、空氣動(dòng)力學(xué)原理,使排風(fēng)柜內(nèi)腔空氣形成一個(gè)整體的穩(wěn)流結(jié)構(gòu)不但加速有害氣體的排出,同時(shí)減少了排風(fēng)柜的總排風(fēng)量。
配套高度智能層流風(fēng)幕通風(fēng)柜,安全性能由SGS認(rèn)證的美標(biāo)檢測(cè)認(rèn)證“零泄漏”,且比傳統(tǒng)排風(fēng)柜節(jié)約空調(diào)能耗高達(dá) 80%以上。
配備國(guó)家注冊(cè)資質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室施工團(tuán)隊(duì),嚴(yán)格執(zhí)行瑞斯達(dá)實(shí)驗(yàn)室施工規(guī)范和工藝標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,開(kāi)工前組織全體施工人員現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行三級(jí)安全教育。
核心成員具有20多年實(shí)驗(yàn)室工程經(jīng)驗(yàn),累計(jì)參與了5000多個(gè)實(shí)驗(yàn)室工程的建設(shè),具備專(zhuān)項(xiàng)實(shí)驗(yàn)室工程整體解決方案的定制與技術(shù)支持能力。
瑞斯達(dá)實(shí)驗(yàn)室工程選用環(huán)保品質(zhì)材料,與伯努利等數(shù)十家品牌廠商建立長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作,打造更高品質(zhì)、更高性?xún)r(jià)比的實(shí)驗(yàn)室整體工程。
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